Cảm biến lưu lượng đo nhiệt bao gồm hai yếu tố cảm biến, cảm biến tốc độ và cảm biến nhiệt độ. Họ tự động bù và điều chỉnh thay đổi nhiệt độ khí. Phần gia nhiệt điện của thiết bị làm nóng cảm biến tốc độ đến giá trị cố định cao hơn nhiệt độ điều kiện làm việc, để tạo thành chênh lệch nhiệt độ không đổi giữa cảm biến tốc độ và cảm biến đo nhiệt độ điều kiện làm việc.

Máy đo lưu lượng điện từ (EMF) là một loại dụng cụ đo lưu lượng mới được phát triển nhanh chóng với sự phát triển của công nghệ điện tử từ những năm 1950 đến 1960. Lưu lượng kế điện từ là một công cụ sử dụng nguyên tắc cảm ứng điện từ để đo lưu lượng chất lỏng dẫn theo lực điện từ gây ra khi chất lỏng dẫn điện đi qua từ trường bên ngoài.